من أبرز الشخصيات التوحيدية التي ظهرت في تلك الفترة؛ الطبيب والمصلح الأسباني ميخائيل سيرفيتوس والذي تأثر بحركة الإصلاح البروتستانتية وإنخرط فيها. ولكنه قطع شوطاً أبعد في طريق الإصلاح؛ حيث أعلن بطلان عقيدة التثليث ورفض ألوهية المسيح بشدة، وألّف كتابه "خطأ التثليث" في عام 1531م وفيه شبّه الرب الذي تدعو الكنيسة لعبادته بالوثن الخرافي "سربيروس" ذو الثلاثة رؤوس، وأطلق على الثالوث إسم "الوحش الشيطاني ذي الرؤوس الثلاثة"، و قام بالدعوة إلى التوحيد ونبذ التثليث. فاتهمته الكنيسة والبروتستانت على السواء بالهرطقة والتجديف. ثم لم يلبث سيرفيتوس إلا وكتب كتاباً سماه "إعادة المسيحية" أظهر فيه شيئاً من التراجع عن أفكاره، لكنه لم ينقذه من العقوبة، حيث أمر المصلح البروتستانتي كالفن بإحراقه حياً على نار هادئة، وتم تنفيذ الحكم في جنيف سنة 1553م. وبالرغم من ذلك فقد إنتشرت أفكاره وكتاباته في وسط و شرق أوربا، وصار له آلاف من الأتباع والمؤيدين، حتى صنفه بعض علماء التاريخ المسيحي على أنه المؤسس الحقيقي للتوحيدية المعاصرة.

كما ظهر في بولونيا وفي نفس تلك الحقبة الراهب واللاهوتي الإيطالي فاوستو باولو سوزيني (1539 ـ 1604م): الذي إشتهر أيضاً باسم "سوسيان" أو "سوسيانوس". قام سوسيان بنشر كتاب إصلاحي إنتقد فيه عقائد الكنيسة الكاثوليكية بشدة، وهاجم عقائد التثليث والتجسد والكفارة والصلب والفداء وسائر المعتقدات الكاثوليكية، ودعى إلى التوحيد الخالص، وإمتدت تعاليمه إلى نواح عدة، حيث إنتشرت في هنغاريا (المجر) ثم بولندا و ترانسلفانيا (إقليم في رومانيا) ثم انتشرت منها إلى هولندا ثم بريطانيا و أخيرا إلى للولايات المتحدة الأمريكية. وعرف مذهبه اللاهوتي بإسم "السوسيانية" وأتباعه بالسوسينيانيين، كما سماهم أعداؤهم بالآريوسيين الجدد؛ نسبة لآريوس ومذهبه القديم. وبعد وفاته جمعت كتابات سوسيان في كتاب واحد ونشرت في مدينة "روكوف" البولندية، عرفت باسم "العقيدة الروكوفية".

تعرض أتباع السوسيانية للاضطهاد بداية من سنة 1638م، حيث أحرق الكثير منهم أحياء مع كتبهم، و حرموا من سائر حقوقهم المدنية. و في سنة 1658 خُـيِّروا بين قبول الكاثوليكية أو النفي، فتوزَّعوا في أطراف أوروبا، وظلوا فئات منفصلة لفترات طويلة، حتى بدأت هجرتهم إلى الولايات المتحدة الأمريكية، حيث شكلوا الفرقة الشهيرة المعروفة الآن باسم التوحيديين (The Unitarians).

وفي ترانسلفانيا برومانيا كان الملك جون سيجسموند توحيدياً، ووفر للتوحيديين الحماية والأمان، وعمل على نشر العقيدة التوحيدية في بلاده حتى صارت بها إحدى أكبر التجمعات التوحيدية في العالم. ولكن بعد وفاته سنة 1571م تولى الملك "ستيفن باثوري" زمام الأمور، وكان كاثوليكياً، فمنع التوحيديين من نشر كتبهم وتعاليمهم إلا بإذن منه.